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真空機組

產品集先進性、可靠性、實用性、經濟性于一體

真空機組

? ? ? ?在真空鍍膜、真空冶煉、真空熱處理、真空干燥、真空浸漬、真空濾油、多晶硅生產等領域廣泛使用。
? ? ? ?羅茨滑閥真空機組由羅茨真空泵與滑閥真空泵串聯組成，滑閥真空系統作為預抽真空泵以及羅茨真空泵的前級真空泵使用，羅茨真空泵作為主抽真空泵。


主要性能參數

單羅茨雙級滑閥真空機組
型號 主泵 前級泵

抽氣速率

(L/s，50Hz)

極限分壓

(Pa)

極限全壓

(Pa)

電機功率

(kW)

進氣口徑

(mm)

排氣口徑

(mm)
JZ2H70-15A ZJ-70DV1 2H-15DVA 70 0.02 0.5 3.3 80 40
JZ2H70-15W ZJ-70DV1 2H-15DVW 70 3.3 80 40
JZ2H150-30 ZJ-150DV1 2H-30DV 150 6.2 100 50
JZ2H150-45A ZJ-150DV1 2H-45DVA 150 6.2 100 50
JZ2H150-50 ZJ-150DV1 2H-50DV 150 7.7 100 63
JZ2H220-45A ZJ-220DV1 2H-45DVA 220 7 100 50
JZ2H220-50 ZJ-220DV1 2H-50DV 220 8.5 100 63
JZ2H220-60 ZJ-220DV1 2H-60DV 220 8.5 100 63
JZ2H300-70 ZJ-300DV1 2H-70DV 300 11.5 160 63
JZ2H300-90 ZJ-300DV1 2H-90DV 300 11.5 160 63
JZ2H600-100 ZJ-600DV1 2H-100DV 600 18.5 200 80
ZJ-600DV2
JZP2H600-100 ZJP-600DV1
JZ2H600-120 ZJ-600DV1 2H-120DV 600 18.5 200 80
ZJ-600DV2
JZP2H600-120 ZJP-600DV1
JZ2H600-150 ZJ-600DV1 2H-150DV 600 22.5 200 100
ZJ-600DV2
JZP2H600-150 ZJP-600DV1
JZ2H600-160 ZJ-600DV1 2H-160DV 600 22.5 200 80
ZJ-600DV2
JZP2H600-160 ZJP-600DV1
JZ2H1000-150 ZJ-1000DV1 2H-150DV 1000 26 200 100
JZ2H1000-160 ZJ-1000DV1 2H-160DV 1000 26 200 80
JZ2H1000-225 ZJ-1000DV1 2H-225DV 1000 33 200 100
JZ2H1200-150 ZJ-1200DV1 2H-150DV 1200 26 250 100
ZJ-1200DV2
JZP2H1200-150 ZJP-1200DV1
JZ2H1200-160 ZJ-1200DV1 2H-160DV 1200 26 250 80
ZJ-1200DV2
JZP2H1200-160 ZJP-1200DV1
JZ2H1200-225 ZJ-1200DV1 2H-225DV 1200
ZJ-1200DV2
JZP2H1200-225 ZJP-1200DV1
JZ2H2000-225 ZJ-2000DV1 2H-225DV 2000 37 250 100
ZJ-2000DV2
JZ2H2000-300 ZJ-2000DV1 2H-300DV 2000 45 250 125
ZJ-2000DV2
JZ2H2500-225 ZJP-2500DV1 2H-225DV 2500 44 320 100
JZP2H2500-300 ZJP-2500DV1 2H-300DV 2500 52 320 125
JZP2H2500-2×150 ZJP-2500DV1 2×2H-150DV 2500 52 320 2×100
JZP2H2500-2×160 ZJP-2500DV1 2×2H-160DV 2500 52 320 2×80
JZP2H2500-2×225 ZJP-2500DV1 2×2H-225DV 2500 66 320 2×100
JZ2H2800-300 ZJ-2800DV1 2H-300DV 2800 52 320 125
ZJ-2800DV2
JZ2H2800-450 ZJ-2800DV1 2H-450DV 2800 67 320 150
ZJ-2800DV2
JZ2H2800-2×150 ZJ-2800DV1 2×2H-150DV 2800 52 320 2×100
ZJ-2800DV2
JZ2H2800-2×160 ZJ-2800DV1 2×2H-160DV 2800 52 320 2×80
ZJ-2800DV2
JZ2H2800-2×225 ZJ-2800DV1 2×2H-225DV 2800 66 320 2×100
ZJ-2800DV2
JZ2H4000-300 ZJ-4000DV1 2H-300DV 4000 60 320 125
ZJ-4000DV2
JZ2H4000-450 ZJ-4000DV1 2H-450DV 4000 75 320 150
ZJ-4000DV2
JZ2H4000-2×225 ZJ-4000DV1 2×2H-225DV 4000 74 320 2×100
ZJ-4000DV2
JZ2H4000-2×300 ZJ-4000DV1 2×2H-300DV 4000 90 320 2×125
ZJ-4000DV2
JZ2H5500-450 ZJ-5500DV1 2H-450DV 5500 82 400 150
ZJ-5500DV2
JZ2H5500-2×300 ZJ-5500DV1 2×2H-300DV 5500 97 400 2×125
ZJ-5500DV2
JZ2H5500-2×450 ZJ-5500DV1 2×2H-450DV 5500 127 400 2×150
ZJ-5500DV2

單羅茨單級滑閥真空機組

型號 主泵 前級泵

抽氣速率

(L/s，50Hz)

極限分壓

(Pa)

極限全壓

(Pa)

電機功率

(kW)

進氣口徑

(mm)

排氣口徑

(mm)
JZH70-25A ZJ-70DV1 H-25DVA 70 0.05 0.8 1.1 +2.2 80 40
JZH70-25W ZJ-70DV1 H-25DVW 70 1.1 +2.2 80 40
JZH150-50 ZJ-150DV1 H-50DV 150 2.2+4 100 50
JZH150-60A ZJ-150DV1 H-60DVA 150 2.2+4 100 50
JZH220-50 ZJ-220DV1 H-50DV 220 3+4 100 50
JZH220-60A ZJ-220DV1 H-60DVA 220 3+4 100 50
JZH220-70 ZJ-220DV1. H-70DV 220 3+5.5 100 63
JZH300-60A ZJ-300DV1 H-60DVA 300 4+4 160 50
JZH300-70 ZJ-300DV1 H-70DV 300 4+5.5 160 63
JZH300-80 ZJ-300DV1 H-80DV 300 4+5.5 160 63
JZH300-100 ZJ-300DV1 H-100DV 300 4+7.5 160 63
JZPH600-100 ZJP-600DV1 H-100DV 600 7.5+7.5 200 63
JZH600-100 ZJ-600DV1 H-100DV 600 7.5+7.5 200 63
ZJ-600DV2
JZPH600-120 ZJP-600DV1 H-120DV 600 7.5+7.5 200 63
JZH600-120 ZJ-600DV1 H-120DV 600 7.5+7.5 200 63
ZJ-600DV2
JZPH600-150 ZJP-600DV1 H-150DV 600 7.5+11 200 80
JZH600-150 ZJ-600DV1 H-150DV 600 7.5+11 200 80
ZJ-600DV2
JZPH600-160 ZJP-600DV1 H-160DV 600 7.5+11 200 80
JZH600-160 ZJ-600DV1 H-160DV 600 7.5+11 200 80
ZJ-600DV2
JZPH600-215 ZJP-600DV1 H-215DV 7.5+15 200 80
JZH600-215 ZJ-600DV1 H-215DV 600 7.5+15 200 80
ZJ-600DV2
JZPH600-225 ZJP-600DV1 H-225DV 7.5+15 200 100
JZH600-225 ZJ-600DV1 H-225DV 600 7.5+15 200 100
ZJ-600DV2
JZH1000-150 ZJ-1000DV1 H-150DV 1000 11+11 200 80
JZH1000-160 ZJ-1000DV1 H-160DV 1000 11+11 200 80
JZH1000-215 ZJ-1000DV1 H-215DV 1000 11+15 200 80
JZH1000-225 ZJ-1000DV1 H-225DV 1000 11+15 200 100
JZH1000-300 ZJ-1000DV1 H-300DV 1000 11 +22 200 100
JZPH1200-150 ZJP-1200DV1 H-150DV 1200 11+11 250 80
JZH1200-150 ZJ-1200DV1 H-150DV 1200 11+11 250 80
ZJ-1200DV2
JZPH1200-160 ZJP-1200DV1 H-160DV 1200 11+11 250 80
JZH1200-160 ZJ-1200DV1 H-160DV 1200 11+11 250 80
ZJ-1200DV2
JZPH1200-215 ZJP-1200DV1 H-215DV 1200 11+15 250 80
JZH1200-215 ZJ-1200DV1 H-215DV 1200 11+15 250 80
ZJ- 200DV2
JZPH1200-225 ZJP-1200DV1 H-225DV 1200 11+15 250 100
JZH1200-225 ZJ-1200DV1 H-225DV 1200 11+15 250 100
ZJ-1200DV2
JZPH1200-300 ZJP-1200DV1 H-300DV 1200 11+22 250 100
JZH1200-300 ZJ-1200DV1 H-300DV 1200 11+22 250 100
ZJ-1200DV2
JZPH1200-400 ZJP-1200DV1 H-400DV 1200 11 +30 250 125
JZH1200-400 ZJ-1200DV1 H-400DV 1200 11 +30 250 125
ZJ-1200DV2
JZH2000-215 ZJ-2000DV1 H-215DV 2000 15+15 250 80
ZJ-2000DV2
JZH2000-225 ZJ-2000DV1 H-225DV 2000 15+15 250 100
ZJ-2000DV2
JZH2000-300 ZJ-2000DV1 H-300DV 2000 15+22 250 100
ZJ-2000DV2
JZH2000-400 ZJ-2000DV1 H-400DV 2000 15+30 250 125
ZJ-2000DV2
JZH2000-600 ZJ-2000DV1 H-600DV 2000 15+45 250 150
ZJ-2000DV2
JZH2000-2×150 ZJ-2000DV1 2×H-150DV 2000 15+2×11 250 2×80
ZJ-2000DV2
JZH2000-2×160 ZJ-2000DV1 2×H-160DV 2000 15+2×11 250 2×80
ZJ-2000DV2
JZH2000-2×215 ZJ-2000DV1 2×H-215DV 2000 15+2×15 250 2×80
ZJ-2000DV2
JZH2000-2×225 ZJ-2000DV1 2×H-225DV 2000 15+2×15 250 2×100
ZJ-2000DV2
JZH2000-2×300 ZJ-2000DV1 2×H-300DV 2000 15+2×22 250 2×100
ZJ-2000DV2
JZH2000-2×400 ZJ-2000DV1 2×H-400DV 2000 15+2×30 250 2×125
ZJ-2000DV2
JZPH2500-300 ZJP-2500DV1 H-300DV 2500 22+22 320 100
JZPH2500-400 ZJP-2500DV1 H-400DV 2500 22+30 320 125
JZPH2500-600 ZJP-2500DV1 H-600DV 2500 22+45 320 150
JZPH2500-2×150 ZJP-2500DV1 2×H-150DV 2500 22+2×11 320 2×80
JZPH2500-2×160 ZJP-2500DV1 2×H-160DV 2500 22+2×11 320 2×80
JZPH2500-2×215 ZJP-2500DV1 2×H-215DV 2500 22+2×15 320 2×80
JZPH2500-2×225 ZJP-2500DV1 2×H-225DV 2500 22+2×15 320 2×100
JZPH2500-2×300 ZJP-2500DV1 2×H-300DV 2500 22+2×22 320 2×100
JZPH2500-2×400 ZJP-2500DV1 2×H-400DV 2500 22+2×30 320 2×125
JZH2800-300 ZJ-2800DV1 H-300DV 2800 22+22 320 100
ZJ-2800DV2
JZH2800-400 ZJ-2800DV1 H-400DV 2800 22+30 320 125
ZJ-2800DV2
JZH2800-600 ZJ-2800DV1 H-600DV 2800 22+45 320 150
ZJ-2800DV2
JZH2800-2×150 ZJ-2800DV1 2×H-150DV 2800 22+2×11 320 2×80
ZJ-2800DV2
JZH2800-2×160 ZJ-2800DV1 2×H-160DV 2800 22+2×11 320 2×80
ZJ-2800DV2
JZH2800-2×215 ZJ-2800DV1 2×H-215DV 2800 22+2×15 320 2×80
ZJ-2800DV2
JZH2800-2×225 ZJ-2800DV1 2×H-225DV 2800 22+2×15 320 2×100
ZJ-2800DV2
JZH2800-2×300 ZJ-2800DV1 2×H-300DV 2800 22+2×22 320 2×100
ZJ-2800DV2
JZH2800-2×400 ZJ-2800DV1 2×H-400DV 2800 22+2×30 320 2×125
ZJ-2800DV2
JZH4000-400 ZJ-4000DV1 H-400DV 4000 30+30 320 125
ZJ-4000DV2
JZH4000-600 ZJ-4000DV1 H-600DV 4000 30+45 320 150
ZJ-4000DV2
JZH4000-2×300 ZJ-4000DV1 2×H-300DV 4000 30+2×22 320 2×100
ZJ-4000DV2
JZH4000-2×400 ZJ-4000DV1 2×H-400DV 4000 30+2×30 320 2×125
ZJ-4000DV2
JZH4000-2×600 ZJ-4000DV1 2×H-600DV 4000 30+2×45 320 2×150
ZJ-4000DV2
JZH5500-400 ZJ-5500DV1 H-400DV 5500 37+30 400 125
ZJ-5500DV2
JZH5500-600 ZJ-5500DV1 H-600DV 5500 37+45 400 150
ZJ-5500DV2
JZH5500-2×300 ZJ-5500DV1 2×H-300DV 5500 37+2×22 400 2×100
ZJ-5500DV2
JZH5500-2×400 ZJ-5500DV1 2×H-400DV 5500 37+2×30 400 2×125
ZJ-5500DV2
JZH5500-2×600 ZJ-5500DV1 2×H-600DV 5500 37+2×45 400 2×150
ZJ-5500DV2
JZH5500-3×300 ZJ-5500DV1 3×H-300DV 5500 37+3×22 400 2×100
ZJ-5500DV2
JZH5500-3×400 ZJ-5500DV1 3×H-400DV 5500 37+3×30 400 2×125
ZJ-5500DV2
JZH5500-3×600 ZJ-5500DV1 3×H-600DV 5500 37+3×45 400 2×150
ZJ-5500DV2

雙羅茨雙級滑閥真空機組

型號 主泵 中間泵 前級泵

抽氣速率

(L/s，50Hz)

極限分壓

(Pa)

極限全壓

電機功率

(kW)

進氣口徑

(mm)

排氣口徑

(mm)
J2Z2H220-70-15A ZJ-220DV1 ZJ-70DV1 2H-15DVA 220 0.01 0.3 3+1.1+2.2 100 40
J2Z2H220-70-15W ZJ-220DV1 ZJ-70DV1 2H-15DVW 220 3+1.1+2.2 100 40
J2Z2H220-70-30 ZJ-220DV1 ZJ-70DV1 2H-30DV 220 3+1.1+4 100 50
J2Z2H300-70-30 ZJ-300DV1 ZJ-70DV1 2H-30DV 300 4+1.1+4 160 50
J2Z2H300-150-45A ZJ-300DV1 ZJ-150DV1 2H-45DVA 300 4+2.2+4 160 50
J2Z2H300-150-50 ZJ-300DV1 ZJ-150DV1 2H-50DV 300 4+2.2+5.5 160 63
J2Z2H300-150-60 ZJ-300DV1 ZJ-150DV1 2H-60DV 300 4+2.2+5.5 160 63
J2Z2H600-150-60 ZJ-600DV1 ZJ-150DV1 2H-60DV 600 7.5+2.2+5.5 200 63
J2Z2H600-220-70 ZJ-600DV1 ZJ-220DV1 2H-70DV 600 7.5+3+7.5 200 63
J2Z2H600-220-80 ZJ-600DV1 ZJ-220DV1 2H-80DV 600 7.5+3+7.5 200 63
J2Z2H1000-300-100 ZJ-1 000DV1 ZJ-300DV1 2H-100DV 1000 11+4+11 200 80
J2Z2H1000-300-120 ZJ-1 000DV1 ZJ-300DV1 2H-120DV 1000 11+4+11 200 80
J2Z2H1200-300-120 ZJ-1 200DV1 ZJ-300DV1 2H-120DV 1200 11+4+11 250 80
J2Z2H2000-600-160 ZJ-1200DV1 ZJ-600DV1 2H-160DV 2000 15+7.5+15 250 80
J2Z2H2000-600-225 ZJ-2000DV1 ZJ-600DV1 2H-225DV 2000 15+7.5+22 250 100
J2ZP2H2500-600-225 ZJP-2500DV1 ZJ-600DV1 2H-225DV 2500 22+7.5+22 320 100
J2ZP2H2500-1000-300 ZJP-2500DV1 ZJ-1000DV1 2H-300DV 2500 22+11+30 320 125
J2Z2H2800-600-225 ZJ-2800DV1 ZJ-600DV1 2H-225DV 2800 22+7.5+22 320 100
J2Z2H2800-1000-300 ZJ-2800DV1 ZJ-1000DV1 2H-300DV 2800 22+11+30 320 125
J2Z2H2800-1200-450 ZJ-2800DV1 ZJ-1200DV1 2H-450DV 2800 22+11+45 320 150
J2Z2H2800-1200-2×300 ZJ-2800DV1 ZJ-1200DV1 2×2H-300DV 2800 22+11+2×30 320 2×125
J2Z2H4000-1000-300 ZJ-4000DV1 ZJ-1000DV1 2H-300DV 4000 30+11+30 320 125
J2Z2H4000-1200-450 ZJ-4000DV1 ZJ-1200DV1 2H-450DV 4000 30+11+45 320 150
J2Z2H4000-1200-2×300 ZJ-4000DV1 ZJ-1200DV1 2×2H-300DV 4000 30+11+2×30 320 2×125
J2Z2H5500-1200-300 ZJ-5500DV1 ZJ-1200DV1 2H-300DV 5500 37+11+30 400 125
J2Z2H5500-1200-450 ZJ-5500DV1 ZJ-1200DV1 2H-450DV 5500 37+11+45 400 150
J2Z2H5500-1200-2×300 ZJ-5500DV1 ZJ-1200DV1 2×2H-300DV 5500 37+11+2×30 400 2×125
J2Z2H5500-2000-2×300 ZJ-5500DV1 ZJ-2000DV1 2×2H-300DV 5500 37+15+2×30 400 2×125
J2Z2H5500-2000-2×450 ZJ-5500DV1 ZJ-2000DV1 2×2H-450DV 5500 37+15+2×45 400 2×150

雙羅茨單級滑閥真空機組

型號 主泵 中間泵 前級泵

抽氣速率

(L/s，50Hz)

極限分壓

(Pa)

極限全壓

(Pa)

電機功率

(kW)

進氣口徑

(mm)

排氣口徑

(mm)
J2ZH220-70-25A ZJ-220DV1 ZJ-70DV1 H-25DVA 220 0.02 0.5 3+1.1+2.2 100 40
J2ZH220-70-25W ZJ-220DV1 ZJ-70DV1 H-25DVW 220 3+1.1+2.2 100 40
J2ZH300-70-25A ZJ-300DV1 ZJ-70DV1 H-25DVA 300 4+1.1+2.2 160 40
J2ZH300-70-25W ZJ-300DV1 ZJ-70DV1 H-25DVW 300 4+1.1+2.2 160 40
J2ZH600-150-50 ZJ-600DV1 ZJ-150DV1 H-50DV 600 7.5+2.2+4 200 50
J2ZH600-150-60A ZJ-600DV1 ZJ-150DV1 H-60DVA 600 7.5+2.2+4 200 50
J2ZH600-150-70 ZJ-600DV1 ZJ-150DV1 H-70DV 600 7.5+2.2+5.5 200 63
J2ZH600-220-80 ZJ-600DV1 ZJ-220DV1 H-80DV 600 7.5+3+5.5 200 63
J2ZH600-220-100 ZJ-600DV1 ZJ-220DV1 H-100DV 600 7.5+3+7.5 200 63
J2ZH1000-300-100 ZJ-1000DV1 ZJ-300DV1 H-100DV 1000 11+4+7.5 200 63
J2ZH1000-300-120 ZJ-1000DV1 ZJ-300DV1 H-120DV 1000 11+4+7.5 200 63
J2ZH1200-300-100 ZJ-1200DV1 ZJ-300DV1 H-100DV 1200 11+4+7.5 250 63
J2ZH1200-300-120 ZJ-1200DV1 ZJ-300DV1 H-120DV 1200 11+4+7.5 250 63
J2ZH1200-300-150 ZJ-1200DV1 ZJ-300DV1 H-150DV 1200 11+4+11 250 80
J2ZH1200-300-160 ZJ-1200DV1 ZJ-300DV1 H-160DV 1200 11+4+11 250 80
J2ZH1200-1000/2-215 ZJ-1200DV1 ZJ-1000DV1 H-215DV 1200 11+11+15 250 80
J2ZH2000-300-150 ZJ-2000DV1 ZJ-300DV1 H-150DV 2000 15+4+11 250 80
J2ZH2000-300-160 ZJ-2000DV1 ZJ-300DV1 H-160DV 2000 15+4+11 250 80
J2ZH2000-600-215 ZJ-2000DV1 ZJ-600DV1 H-215DV 2000 15+7.5+15 250 80
J2ZH2000-600-225 ZJ-2000DV1 ZJ-600DV1 H-225DV 2000 15+7.5+15 250 100
J2ZH2000-600-300 ZJ-2000DV1 ZJ-600DV1 H-300DV 2000 15+7.5+15 250 100
J2ZH2000-600-2×150 ZJ-2000DV1 ZJ-600DV1 2×H-150DV 2000 15+7.5+2×11 250 2×80
J2ZH2000-600-2×160 ZJ-2000DV1 ZJ-600DV1 2×H-160DV 2000 15+7.5+2×11 250 2×80
J2ZPH2500-600-150 ZJP-2500DV1 ZJ-600DV1 H-150DV 2500 22+7.5+11 320 80
J2ZPH2500-600-160 ZJP-2500DV1 ZJ-600DV1 H-160DV 2500 22+7.5+11 320 80
J2ZPH2500-600-215 ZJP-2500DV1 ZJ-600DV1 H-215DV 2500 22+7.5+15 320 80
J2ZPH2500-600-225 ZJP-2500DV1 ZJ-600DV1 H-225DV 2500 22+7.5+15 320 100
J2ZPH2500-600-300 ZJP-2500DV1 ZJ-600DV1 H-300DV 2500 22+7.5+22 320 100
J2ZPH2500-1000-300 ZJP-2500DV1 ZJ-1000DV1 H-300DV 2500 22+11+22 320 100
J2ZPH2500-1000-400 ZJP-2500DV1 ZJ-1000DV1 H-400DV 2500 22+11+30 320 125
J2ZPH2500-1000-2×150 ZJP-2500DV1 ZJ-1000DV1 2×H-150DV 2500 22+11+2×11 320 2×80
J2ZPH2500-1000-2×160 ZJP-2500DV1 ZJ-1000DV1 2×H-160DV 2500 22+11+2×11 320 2×80
J2ZPH2500-1000-2×215 ZJP-2500DV1 ZJ-1000DV1 2×H-215DV 2500 22+11+2×15 320 2×80
J2ZPH2500-1000-2×225 ZJP-2500DV1 ZJ-1000DV1 2×H-225DV 2500 22+11+2×15 320 2×100
J2ZH2800-600-215 ZJ-2800DV1 ZJ-600DV1 H-215DV 2800 22+7.5+15 320 80
J2ZH2800-600-225 ZJ-2800DV1 ZJ-600DV1 H-225DV 2800 22+7.5+15 320 100
J2ZH2800-1000-300 ZJ-2800DV1 ZJ-1000DV1 H-300DV 2800 22+11+22 320 100
J2ZH2800-1000-400 ZJ-2800DV1 ZJ-1000DV1 H-400DV 2800 22+11+30 320 125
J2ZH2800-1200-600 ZJ-2800DV1 ZJ-1200DV1 H-600DV 2800 22+11+45 320 150
J2ZH2800-1000-2×150 ZJ-2800DV1 ZJ-1000DV1 2×H-150DV 2800 22+11+2×11 320 2×80
J2ZH2800-1000-2×160 ZJ-2800DV1 ZJ-1000DV1 2×H-160DV 2800 22+11+2×11 320 2×80
J2ZH2800-1000-2×215 ZJ-2800DV1 ZJ-1200DV1 2×H-215DV 2800 22+11+2×15 320 2×80
J2ZH2800-1000-2×225 ZJ-2800DV1 ZJ-1200DV1 2×H-225DV 2800 22+11+2×15 320 2×100
J2ZH4000-1200-300 ZJ-4000DV1 ZJ-1200DV1 H-300DV 4000 30+11+22 320 100
J2ZH4000-1200-400 ZJ-4000DV1 ZJ-1200DV1 H-400DV 4000 30+11+30 320 125
J2ZH4000-1200-600 ZJ-4000DV1 ZJ-1200DV1 H-600DV 4000 30+11+45 320 150
J2ZH4000-1000-2×150 ZJ-4000DV1 ZJ-1000DV1 2×H-150DV 4000 30+11+2×11 320 2×80
J2ZH4000-1000-2×160 ZJ-4000DV1 ZJ-1000DV1 2×H-160DV 4000 30+11+2×11 320 2×80
J2ZH4000-1200-2×215 ZJ-4000DV1 ZJ-1200DV1 2×H-215DV 4000 30+11+2×15 320 2×80
J2ZH4000-1200-2×225 ZJ-4000DV1 ZJ-1200DV1 2×H-225DV 4000 30+11+2×15 320 2×100
J2ZH4000-1200-2×300 ZJ-4000DV1 ZJ-1200DV1 2×H-300DV 4000 30+11+2×22 320 2×100
J2ZH5500-1200-300 ZJ-5500DV1 ZJ-1200DV1 H-300DV 5500 37+11+22 400 100
J2ZH5500-1200-400 ZJ-5500DV1 ZJ-1200DV1 H-400DV 5500 37+11+30 400 125
J2ZH5500-2000-600 ZJ-5500DV1 ZJ-1200DV1 H-600DV 5500 37+11+45 400 150
J2ZH5500-1200-2×215 ZJ-5500DV1 ZJ-1200DV1 2×H-215DV 5500 37+11+2×15 400 2×80
J2ZH5500-1200-2×225 ZJ-5500DV1 ZJ-1200DV1 2×H-225DV 5500 37+11+2×15 400 2×100
J2ZH5500-2000-2×300 ZJ-5500DV1 ZJ-2000DV1 2×H-300DV 5500 37+11+2×22 400 2×100
J2ZH5500-2000-2×400 ZJ-5500DV1 ZJ-2000DV1 2×H-400DV 5500 37+11+2×30 400 2×125
J2ZH5500-2000-2×600 ZJ-5500DV1 ZJ-2000DV1 2×H-600DV 5500 37+11+2×45 400 2×150
單羅茨雙級水（液）環真空機組
型號 主泵 前級泵

極限壓力

(Pa)

抽氣速率

(L/s)

電機功率

(kW)

進氣口徑

(mm)

排氣口徑

(mm)
Water Ring Oil Ring
JZ2S70-35 ZJ-70DV1 2SK-2 300 80 70 1.1+5.5 80 40/50
JZ2S70-50 ZJ-70DV1 2SK-3 70 1.1+7.5 80 50
JZ2S150-100 ZJ-150DV1 2SK-6 150 3+11 100 50
JZ2S300-200 ZJ-300DV1 2SK-12 300 4+22 160 80
JZP2S600-400 ZJ-600DV1 2SK-25 600 7.5+45 200 100
JZ2S1000-500 ZJ-1000DV1 2SK-30 1000 11+55 200 100
JZP2S1200-500 ZJ-1200DV1 2SK-30 1200 11+55 250 100
JZP2S1200-700 ZJ-1200DV1 2SK-42 1200 11+75 250 100

雙羅茨雙級水（液）環真空機組

型號 主泵 中間泵 前級泵

極限壓力

(Pa)

抽氣速率

(L/s)

電機功率

(kW)

進氣口徑

(mm)

排氣口徑

(mm)
Water Ring Oil Ring
J2Z2S220-70-35 ZJ-220DV1 ZJ-70DV1 2SK-2 40 1 220 3+1.1+5.5 100 40/50
J2Z2S220-70-50 ZJ-220DV1 ZJ-70DV1 2SK-3 220 3+1.1+7.5 100 50
J2Z2S300-70-50 ZJ-300DV1 ZJ-70DV1 2SK-3 300 4+1.1+7.5 160 50
J2Z2S300-150-100 ZJ-300DV1 ZJ-150DV1 2SK-6 300 4+3+11 160 50
J2ZP2S600-150-100 ZJP-600DV1 ZJ-150DV1 2SK-6 600 7.5+3+11 200 50
J2ZP2S600-300-200 ZJP-600DV1 ZJ-300DV1 2SK-12 600 7.5+4+22 200 80
J2ZP2S1200-300-200 ZJP-1200DV1 ZJ-300DV1 2SK-12 1200 11+4+22 250 80
J2ZP2S1200-600-400 ZJP-1200DV1 ZJP-600DV1 2SK-25 1200 11+7.5+45 250 100
J2Z2S2000-600-400 ZJ-2000DV1 ZJP-600DV1 2SK-25 2000 15+7.5+45 250 100
J2Z2S2000-1000-500 ZJ-2000DV1 ZJ-1000DV1 2SK-30 2000 15+11+55 250 100
J2Z2S2000-1000-700 ZJ-2000DV1 ZJ-1000DV1 2SK-42 2000 15+11+75 250 100
J2ZP2S2500-600-400 ZJP-2500DV1 ZJP-600DV1 2SK-25 2500 22+7.5+45 320 100
J2ZP2S2500-1000-500 ZJP-2500DV1 ZJ-1000DV1 2SK-30 2500 22+11+55 320 100
J2ZP2S2500-1200-700 ZJP-2500DV1 ZJP-1200DV1 2SK-42 2500 22+11+75 320 100

三羅茨雙級水（液）環真空機組

型號 主泵 中間泵 中間泵 前級泵

極限壓力

(Pa)

抽氣速率

(L/s)

電機功率

(kW)

進氣口徑

(mm)

排氣口徑

(mm)
Water Ring Oil Ring
J3Z2S300-150-70-50 ZJ-300DV1 ZJ-150DV1 ZJ-70DV1 2SK-3 1 0.5 300 4+3+1.1+7.5 160 50
J3ZP2S600-150-70-50 ZJP-600DV1 ZJ-150DV1 ZJ-70DV1 2SK-3 600 7.5+3+1.1+7.5 200 50
J3ZP2S600-220-150-100 ZJP-600DV1 ZJ-220DV1 ZJ-150DV1 2SK-6 600 7.5+3+3+11 200 50
J3ZP2S1200-300-150-100 ZJP-1200DV1 ZJ-300DV1 ZJ-150DV1 2SK-6 1200 11+4+3+11 250 50
J3ZP2S1200-600-300-200 ZJP-1200DV1 ZJP-600DV1 ZJ-300DV1 2SK-12 1200 11+7.5+4+22 250 80
J3ZP2S2500-600-300-200 ZJP-2500DV1 ZJP-600DV1 ZJ-300DV1 2SK-12 2500 22+7.5+4+22 320 80
J3ZP2S2500-1200-600-400 ZJP-2500DV1 ZJP-1200DV1 ZJP-600DV1 2SK-25 2500 22+11+7.5+45 320 100
J3ZP2S2500-1200-600-500 ZJ-2500DV1 ZJP-1200DV1 ZJP-600DV1 2SK-30 2500 22+11+7.5+55 320 100
J3Z2S4000-1200-600-400 ZJ-4000DV1 ZJP-1200DV1 ZJP-600DV1 2SK-25 4000 30+11+7.5+45 320 100
J3Z2S4000-1200-600-500 ZJ-4000DV1 ZJP-1200DV1 ZJP-600DV1 2SK-30 4000 30+11+7.5+55 320 100
J3Z2S4000-2000-1200-700 ZJP-4000DV1 ZJ-2000DV1 ZJP-1200DV1 2SK-42 4000 30+15+11+75 320 100
J3Z2S5500-1200-600-500 ZJ-5500DV1 ZJP-1200DV1 ZJP-600DV1 2SK-30 5500 37+11+7.5+55 400 100
J3Z2S5500-2000-1200-700 ZJ-5500DV1 ZJ-2000DV1 ZJP-1200DV1 2SK-42 5500 37+15+11+75 400 100

羅茨螺桿干式真空機組

單羅茨螺桿干式真空機組

型號

主泵

前級泵

抽氣速率

(L/s, 50Hz)

極限全壓

(Pa)

電機功率

(kW)

進氣口徑

(mm)

排氣口徑

(mm)
JZSV70-35 ZJ-70DV1 SVP-35 70 0.5 1.1+3 80 40
JZSV150-35 ZJ-150DV1 SVP-35 150 2.2+3 100 40
JZSVI220-40 ZJ-220DV1 SVPI-40 220 3+3 100 40
JZSVI220-50 ZJ-220DV1 SVPI-50 220 3+4 100 40
JZSVI300-50 ZJ-300DV1 SVPI-50 300 4+4 160 40
JZSV300-80 ZJ-300DV1 SVP-80 300 4+5.5 160 50
JZSVI300-80 ZJ-300DV1 SVPI-80 300 4+5.5 160 50
JZSVI300-120 ZJ-300DV1 SVPI-120 300 4+7.5 160 50
JZSV300-150 ZJ-300DV1 SVP-150 300 4+11 160 63
JZSVI600-120 ZJ-600DV1 SVPI-120 600 7.5+7.5 200 50
JZSV600-150 ZJ-600DV1 SVP-150 600 7.5+11 200 63
JZSVI600-160 ZJ-600DV1 SVPI-160 600 7.5+11 200 63
JZSV600-200 ZJ-600DV1 SVP-200 600 7.5+15 200 80
JZSVI600-220 ZJ-600DV1 SVPI-220 600 7.5+15 200 80
JZSV600-300 ZJ-600DV1 SVP-300 600 7.5+22 200 100
JZSV1000-200 ZJ-1000DV1 SVP-200 1000 11+15 200 80
JZSVI1000-220 ZJ-1000DV1 SVPI-220 1000 11+15 200 80
JZSV1000-300 ZJ-1000DV1 SVP-300 1000 11+22 200 100
JZSVI1000-330 ZJ-1000DV1 SVPI-330 1000 11+22 200 100
JZSV1000-400 ZJ-1000DV1 SVP-400 1000 11+30 200 100
JZSV1200-200 ZJ-1200DV1 SVP-200 1200 11+15 250 80
JZSVI1200-220 ZJ-1200DV1 SVPI-220 1200 11+15 250 80
JZSV1200-300 ZJ-1200DV1 SVP-300 1200 11+22 250 100
JZSVI1200-330 ZJ-1200DV1 SVPI-300 1200 11+22 250 100
JZSV1200-400 ZJ-1200DV1 SVP-400 1200 11+30 250 100
JZSV2000-300 ZJ-2000DV1 SVP-300 2000 15+22 250 100
JZSVI2000-330 ZJ-2000DV1 SVPI-330 2000 15+22 250 100
JZSV2000-400 ZJ-2000DV1 SVP-400 2000 15+30 250 100
JZSVI2000-450 ZJ-2000DV1 SVPI-450 2000 15+30 250 100
JZPSV2500-400 ZJP-2500DV1 SVP-400 2500 22+30 320 100
JZPSVI2500-450 ZJP-2500DV1 SVPI-450 2500 22+30 320 100
JZPSVI2500-600 ZJP-2500DV1 SVPI-600 2500 22+37 320 125
JZSV2800-400 ZJ-2800DV1 SVP-400 2800 22+30 320 100
JZSVI2800-450 ZJ-2800DV1 SVPI-450 2800 22+30 320 100
JZSVI2800-600 ZJ-2800DV1 SVPI-600 2800 22+37 320 125
JZSV4000-400 ZJ-4000DV1 SVP-400 4000 30+30 320 100
JZSVI4000-450 ZJ-4000DV1 SVPI-450 4000 30+30 320 100
JZSVI4000-600 ZJ-4000DV1 SVPI-600 4000 30+37 320 125
JZSV4000-2×400 ZJ-4000DV1 2×SVP-400 4000 30+2×30 320 2×100
JZSVI4000-2×450 ZJ-4000DV1 2×SVPI-450 4000 30+2×30 320 2×100
JZSVI5500-2×450 ZJ-5500DV1 SVPI-450 5500 37+2×30 400 2×100
JZSVI5500-600 ZJ-5500DV1 SVPI-600 5500 37+37 400 125
JZSVI5500-2×600 ZJ-5500DV1 2×SVPI-600 5500 37+2×37 400 2×125

雙羅茨螺桿干式真空機組

型號

主泵

中間泵

前級泵

抽氣速率

(L/s, 50Hz)

極限全壓

(Pa)

電機功率

(kW)

進氣口徑

(mm)

排氣口徑

(mm)
J2ZSV220-70-35 ZJ-220DV1 ZJ-70DV1 SVP-35 220 0.1 3+1.1+3 100 40
J2ZSV300-70-35 ZJ-300DV1 ZJ-70DV1 SVP-35 300 4+1.1+3 160 40
J2ZSV300-150-80 ZJ-300DV1 ZJ-150DV1 SVP-80 300 4+2.2+5.5 160 50
J2ZSV600-150-80 ZJ-600DV1 ZJ-150DV1 SVP-80 600 7.5+2.2+5.5 200 50
J2ZSV1000-220-80 ZJ-1000DV1 ZJ-220DV1 SVP-80 1000 11+3+5.5 200 50
J2ZSVI1200-300-120 ZJ-1200DV1 ZJ-300DV1 SVPI-120 1200 11+3+7.5 250 50
J2ZSV1200-300-150 ZJ-1200DV1 ZJ-300DV1 SVP-150 1200 11+3+11 250 63
J2ZSV2000-600-150 ZJ-2000DV1 ZJ-600DV1 SVP-150 2000 15+7.5+11 250 63
J2ZSVI2000-600-160 ZJ-2000DV1 ZJ-600DV1 SVPI-160 2000 15+7.5+11 250 63
J2ZSV2000-600-200 ZJ-2000DV1 ZJ-600DV1 SVP-200 2000 15+7.5+15 250 80
J2ZSVI2000-600-220 ZJ-2000DV1 ZJ-600DV1 SVPI-220 2000 15+7.5+15 250 80
J2ZPSV2500-600-200 ZJP-2500DV1 ZJ-600DV1 SVP-200 2500 22+7.5+15 320 80
J2ZPSVI2500-600-220 ZJP-2500DV1 ZJ-600DV1 SVPI-220 2500 22+7.5+15 320 80
J2ZSV2800-600-200 ZJ-2800DV1 ZJ-600DV1 SVP-200 2800 22+7.5+15 320 80
J2ZSVI2800-600-220 ZJ-2800DV1 ZJ-600DV1 SVPI-220 2800 22+7.5+15 320 80
J2ZSV2800-1000-300 ZJ-2800DV1 ZJ-1000DV1 SVP-300 2800 22+11+22 320 100
J2ZSVI2800-1000-330 ZJ-2800DV1 ZJ-1000DV1 SVPI-330 2800 22+11+22 320 100
J2ZSV2800-1000-400 ZJ-2800DV1 ZJ-1000DV1 SVP-400 2800 22+11+30 320 100
J2ZSVI2800-1000-450 ZJ-2800DV1 ZJ-1000DV1 SVPI-450 2800 22+11+30 320 100
J2ZSV4000-1000-400 ZJ-4000DV1 ZJ-1000DV1 SVP-400 4000 30+11+30 320 100
J2ZSVI4000-1200-450 ZJ-4000DV1 ZJ-1200DV1 SVPI-450 4000 30+11+30 320 100
J2ZSV5500-1200-400 ZJ-5500DV1 ZJ-1200DV1 SVP-400 5500 37+11+30 400 100
J2ZSVI5500-1200-450 ZJ-5500DV1 ZJ-1200DV1 SVPI-450 5500 37+11+30 400 100
J2ZSVI5500-1200-600 ZJ-5500DV1 ZJ-1200DV1 SVPI-600 5500 37+11+37 400 125
J2ZSV5500-2000-2×400 ZJ-5500DV1 ZJ-2000DV1 2XSVP-400 5500 37+15+2×30 400 2×100
J2ZSVI5500-2000-2×450 ZJ-5500DV1 ZJ-2000DV1 2XSVPI-450 5500 37+15+2×30 400 2×100
J2ZSVI5500-2000-2×600 ZJ-5500DV1 ZJ-2000DV1 2XSVPI-600 5500 37+15+2×37 400 2×125

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